半導体など電子部品製造装置メーカーのサムコは急成長するLED(発光ダイオード)や今後市場の立ち上がりが見込まれるTSV(貫通電極型3次元実装)向けに、ナノ(10億分の1)レベルの薄い酸化膜を形成するCVD(化学気相成長)装置の新製品を積極的に投入している。これにより、平成23年7月期に売上高を現在比倍増の20億円以上を目指す。
LEDは、液晶テレビのバックライト用に需要が拡大しているほか、照明用も市場が急成長するとみられている。同社はLED製造プロセス向けに、シリコン酸化膜でLED素子を保護して輝度を上げる「酸化膜形成CVD装置」としてバッチ式2インチウエハー60枚処理能力を持った「PD-5400」を開発・販売を開始した。
従来の処理能力は48枚だったが、ユーザーからのコスト低減への要望に応えて開発したもので、辻理社長は「国内だけでなく、台湾や中国、韓国などアジア市場からも強い期待を受けている」と、アジア各国に積極的に売り込む方針だ。
一方、半導体が高集積化されれば、本格的に量産期を迎えると予想されているTSV分野向けには、12インチウエハー用の絶縁膜形成装置の新製品「PDー330STC」の拡販に乗り出している。